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发明名称 PROCESS FOR ALIGNING PHOTOGRAVURES WITH RESPECT TO REGION-ISOLATING WALLS IN INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP0031260(A3) 申请公布日期 1981.07.22
申请号 EP19800401616 申请日期 1980.11.12
申请人 THOMSON-CSF 发明人 TONNEL, EUGENE
分类号 H01L21/306;H01L21/761;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/30 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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