| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET BEWERKEN VAN EEN INRICHTING EN INRICHTING VERKREGEN VOLGENS DEZE WERKWIJZE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL8006438(A) |
申请公布日期 |
1981.07.01 |
| 申请号 |
NL19800006438 |
申请日期 |
1980.11.26 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED TE NEW YORK. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/039;G03F7/095;G03F7/26;(IPC1-7):G03F7/00 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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