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发明名称
POSITION DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5679203(A)
申请公布日期
1981.06.29
申请号
JP19790155399
申请日期
1979.11.30
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
ARIMURA YOSHIAKI
分类号
G01B11/00;G05D3/12;H01L21/60
主分类号
G01B11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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