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发明名称 METHOD FOR MODIFICATION OF SEMICONDUCTOR INSTRUMENTS DYNAMIC FEATURES BY MEANS OF IONIZING RADIATION
摘要
申请公布号 PL116059(B1) 申请公布日期 1981.05.30
申请号 PL19780208824 申请日期 1978.08.03
申请人 发明人
分类号 H01L;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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