发明名称 MASK CHANGER,ESPECIALLY FOR VACUUM DEPOSITION OF TWO-AND MULTILAYER STRUCTURES
摘要
申请公布号 PL116020(B1) 申请公布日期 1981.05.30
申请号 PL19780205050 申请日期 1978.03.03
申请人 发明人
分类号 B05B;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 B05B
代理机构 代理人
主权项
地址