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发明名称 CONTROLLING DEVICE OF VIBRATING STAGE
摘要
申请公布号 JPS5657922(A) 申请公布日期 1981.05.20
申请号 JP19790132990 申请日期 1979.10.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 ONOKI MINORU
分类号 G01M7/02;G01H13/00;G01H15/00;G01M7/00 主分类号 G01M7/02
代理机构 代理人
主权项
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