发明名称 DRAWING DEVICE FOR INTEGRATED CIRCUIT PATTERN
摘要
申请公布号 JPS5655297(A) 申请公布日期 1981.05.15
申请号 JP19770119058 申请日期 1977.10.05
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 GOTOU YUUJI
分类号 B43L13/00 主分类号 B43L13/00
代理机构 代理人
主权项
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