| 摘要 |
Une paire d'electrodes (I, I0) ont les deux fonctions d'entree et de maintien en vie dans un dispositif de transfert de charge de plasma (30). Les electrodes d'entree-maintien en vie (I, I0) sont formees sur des parois opposees (16) du dispositif adjacentes a une rangee d'electrodes de transfert (14) et sont accouplees de maniere capacitive au gaz d'ionisation. Des impulsions de tension repetitives et selectives sont multiplexees aux electrodes d'entree- maintien en vie (I, I0) et synchronisees avec les impulsions des electrodes de transfert, pour donner, respectivement, une fonction de maintien en vie et l'entree selective des donnees au dispositif de transfert de charge (30). Une paire d'electrodes d'effacement (E, E0) peut aussi etre accouplee de maniere capacitive au gaz. Une technique d'impulsion est decrite pour retablir la neutralite de charge des electrodes d'entree-maintien en vie (I, I0) et des electrodes d'effacement (E, E0) apres chaque fonction d'entree ou d'effacement. |
