| 发明名称 |
ELECTRODE FOR GENERATING PLASMA FOR SHEET TYPE PLASMA REACTION PROCESSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5648099(A) |
申请公布日期 |
1981.05.01 |
| 申请号 |
JP19790122802 |
申请日期 |
1979.09.25 |
| 申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
HIJIKATA ISAMU;UEHARA AKIRA |
| 分类号 |
B01J19/08;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/24;H05H1/46 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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