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经营范围
发明名称
PLASMA ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS5647574(A)
申请公布日期
1981.04.30
申请号
JP19790124206
申请日期
1979.09.28
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
SHIBAGAKI MASAHIRO;HORIIKE YASUHIRO
分类号
C23F4/00;C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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