发明名称 PLASMA ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5647574(A) 申请公布日期 1981.04.30
申请号 JP19790124206 申请日期 1979.09.28
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 SHIBAGAKI MASAHIRO;HORIIKE YASUHIRO
分类号 C23F4/00;C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
地址