发明名称 APPAREIL ET PROCEDE DE FOCALISATION POUR LE BALAYAGE EN DOUBLE DEVIATION D'UN FAISCEAU DE PARTICULES CHARGEES
摘要 <P>L'INVENTION CONCERNE UN APPAREIL ET UN PROCEDE DE FOCALISATION POUR LE BALAYAGE A DOUBLE DEVIATION D'UN FAISCEAU DE PARTICULES.</P><P>UN PREMIER ELECTRO-AIMANT32 DEVIE UN FAISCEAU COLLIMATE20 D'UN ANGLE VARIABLE POUR PRODUIRE UN FAISCEAU EN EVENTAIL 21, 22 QUI PASSE ENSUITE DANS L'ENTREFER D'AIMANTS EN SECTEUR 23, 24. CES DERNIERS DEVIENT A NOUVEAU LE FAISCEAU EN EVENTAIL POUR PRODUIRE UN FAISCEAU PARALLELE 33, 34.</P><P>L'INVENTION S'APPLIQUE NOTAMMENT A UN EQUIPEMENT D'IMPLANTATION IONIQUE DE PLAQUETTES SEMI-CONDUCTRICES.</P>
申请公布号 FR2465310(A1) 申请公布日期 1981.03.20
申请号 FR19800019823 申请日期 1980.09.15
申请人 VARIAN ASSOCIATES 发明人 HARALD ANTON ENGE
分类号 G21K1/08;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/14;H01J37/31;H01L21/26 主分类号 G21K1/08
代理机构 代理人
主权项
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