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发明名称 MOS-VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG.
摘要
申请公布号 DE3012363(A1) 申请公布日期 1981.03.12
申请号 DE19803012363 申请日期 1980.03.29
申请人 MITEL CORP. 发明人 AITKEN,ALAN
分类号 H01L21/033;H01L21/265;H01L21/339;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/092;H01L27/105;H01L29/762;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/26;H01L27/06;H01L29/66 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
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