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发明名称
摘要
申请公布号 GB1290996(A) 申请公布日期 1972.09.27
申请号 GBD1290996 申请日期 1971.04.19
申请人 发明人
分类号 G03F9/00;H01L21/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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