发明名称
摘要
申请公布号 JPS5610788(B2) 申请公布日期 1981.03.10
申请号 JP19720062767 申请日期 1972.06.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/3213;H01L21/306;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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