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发明名称 DEVICE FOR MEASURING THICKNESS OF THIN LAYER
摘要
申请公布号 JPS5622906(A) 申请公布日期 1981.03.04
申请号 JP19790097443 申请日期 1979.08.01
申请人 HERUMIYUUTO FUITSUSHIYAA 发明人 HERUMIYUUTO FUITSUSHIYAA;ARUBERUTO OTSUTO;UIRI SUTEIGUMIYURAA
分类号 G01B15/02;G01N23/203 主分类号 G01B15/02
代理机构 代理人
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