发明名称 PERFECCIONAMIENTOS EN LOS SISTEMAS DE METALIZACION POR BOMBARDEO IONICO
摘要 <p>DISPOSITIVO DE METALIZACION POR BOMBARDEO IONICO. LOS MEDIOS DE BLANCO DE METALIZACION SE ENCUENTRAN EN LOS CATODOS CORRESPONDIENTES, EL CUAL CONSTA ADEMAS DE: 1) ESTRUCTURA SOPORTE ELECTRICAMENTE CONDUCTORA, CON SOPORTE ADICIONAL PARA TOMA DE ENERGIA. 2) DISPOSITIVOS MAGNETICOS PARA CONFINAMIENTO DE LOS ELECTRONES EN UNA ZONA CON FORMA DE CINTURON. ESOS DISPOSITIVOS INCLUYEN ADEMAS ELEMENTOS PRODUCTORES DE CAMPO MAGNETICO SOPORTADOS EN EL CATODO. DISPOSITIVOS DE UNION DE LAS PLACAS DE CARA DE BLANCO A LA ESTRUCTURA DEL SOPORTE ESTAN RECORRIDOS POR CONDUCTORES.</p>
申请公布号 ES8101129(A1) 申请公布日期 1981.03.01
申请号 ES19730004875 申请日期 1979.12.20
申请人 ADVANCED COATING TECHNOLOGY, INC. 发明人
分类号 C23C14/36;C23C14/35;C23C14/56;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):23C15/00 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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