发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5619672(A) 申请公布日期 1981.02.24
申请号 JP19790095430 申请日期 1979.07.25
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KOBAYASHI SHINJI
分类号 H01L29/78;H01L21/28 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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