| 发明名称 |
ALIGNMENT STAGE FOR STEP AND REPEAT EXPOSURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5617341(A) |
申请公布日期 |
1981.02.19 |
| 申请号 |
JP19790092625 |
申请日期 |
1979.07.23 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
KINOSHITA HIROO;KANAI MUNENORI;SAITOU TADAO;YOSHIDA KAZUE;YAMAZAKI SHINICHI |
| 分类号 |
B23Q1/38;B23Q1/00;B23Q1/48;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68 |
主分类号 |
B23Q1/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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