发明名称 |
CONTROLLING THE PROPERTIES OF NATIVE FILMS USING SELECTIVE GROWTH CHEMISTRY. |
摘要 |
Technique amelioree de production de films natifs sur des semi-conducteurs composes. Dans cette technique, on utilise un procede chimique supplementaire en association avec des procedes de croissance ou production de l'art anterieur pour eliminer ce qui constituerait autrement des composants n'ayant pas reagit dans le film natif. Des films utilisant cette technique presentent des proprietes electriques ameliorees. |
申请公布号 |
EP0023911(A1) |
申请公布日期 |
1981.02.18 |
申请号 |
EP19800900359 |
申请日期 |
1980.08.25 |
申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED |
发明人 |
CHANG, ROBERT PANG HENG |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/316;H01L21/324;H01L29/94;(IPC1-7):01L21/30;01L21/324;01L21/316 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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