发明名称
摘要
申请公布号 JPS565067(B2) 申请公布日期 1981.02.03
申请号 JP19740084136 申请日期 1974.07.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/8222;H01L21/331;H01L21/8226;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/082;H01L29/73;H03K19/08 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
主权项
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