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发明名称
摘要
申请公布号
JPS565067(B2)
申请公布日期
1981.02.03
申请号
JP19740084136
申请日期
1974.07.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/8222;H01L21/331;H01L21/8226;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/082;H01L29/73;H03K19/08
主分类号
H01L21/8222
代理机构
代理人
主权项
地址
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