摘要 |
Dotiertes Quarzglas wird durch reaktive Abscheidung aus der Gasphase unter Einwirkung eines nichtisothermen Plasmas auf der Innenseite eines Quarzglasrohres angebracht. Das beschichtete Rohr wird kollabiert und die dabei erhaltene Vorform wird zu einer Faser ausgezogen. Bei der Abscheidung soll der Rohrinnendurchmesser zwischen 6 und 30 mm der Formel <IMAGE> genügen, wobei M die Menge an dotiertem Quarzglas in g ist, die pro Minute abeschieden wird, und A1 den Wert 1,42 . 10<-><4> g/min hat. Am Ende der Abscheidung vor dem Kollabieren soll der Innendurchmesser der Gleichung <IMAGE> wobei A11 den Wert 6,63 . 10<-><5> g/min hat.
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