| 发明名称 |
FORMATION OF METALLIC PATTERN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS563679(A) |
申请公布日期 |
1981.01.14 |
| 申请号 |
JP19790079894 |
申请日期 |
1979.06.22 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TSUBOUCHI NATSUO;HARADA KOUJI;ABE HARUHIKO;YONEDA MASAHIRO;OOHAYASHI YOSHIKAZU |
| 分类号 |
C23F4/00;C23F1/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L27/00 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
