| 发明名称 |
Method for making isolation trenches. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0020994(A1) |
申请公布日期 |
1981.01.07 |
| 申请号 |
EP19800102651 |
申请日期 |
1980.05.13 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
ANTIPOV, IGOR |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/31;H01L21/762;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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