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发明名称 INTERFEROMETER FOR MONITORING FILM THICKNESS IN THE PROCESS OF APPLYING IT ON PART SURFACE IN VACUUM
摘要
申请公布号 SU789682(A1) 申请公布日期 1980.12.23
申请号 SU19792718460 申请日期 1979.01.25
申请人 TUZOV VALERIJ G,SU;VATULIN ANDREJ K,SU 发明人 TUZOV VALERIJ G,SU;VATULIN ANDREJ K,SU
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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