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发明名称 OPTICAL FOCUSING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0017044(A3) 申请公布日期 1980.12.10
申请号 EP19800101308 申请日期 1980.03.13
申请人 OPTIMETRIX CORPORATION 发明人 PHILLIPS, EDWARD H.
分类号 H01L21/30;G02B7/32;G03F7/20;G03F9/00;G03F9/02;H01L21/027;(IPC1-7):G03B41/00 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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