| 发明名称 |
SINGLE CRYSTAL MANUFACTURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55158198(A) |
申请公布日期 |
1980.12.09 |
| 申请号 |
JP19790066383 |
申请日期 |
1979.05.29 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
FUKUDA TSUGUO |
| 分类号 |
C30B27/02;C30B15/00;H01L21/02;H01L21/18;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B27/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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