| 主权项 |
1.一种电子装置-晶片集合体,其系由基板之表面所 形成之复数之电子装置-晶片所组成者;其特征为: 各电子装置-晶片包含供与外部电路电性连接所设 置,露出于外部之连接端子部,且 各电子装置-晶片进一步包含围绕连接端子部之保 护电极。 2.如请求项1之电子装置-晶片集合体,其中, 保护电极主要系为防止于基板之表面及/或背面发 生之静电从连接端子部侵入至电子装置-晶片之情 形而备置。 3.如请求项1之电子装置-晶片集合体,其中, 保护电极系处于浮动状态。 4.一种电子装置-晶片,其特征为: 包含形成于支撑体之表面,供与外部电路之电性连 接所设置,露出于外部之连接端子部,且进一步包 含围绕连接端子部之保护电极。 5.如请求项4之电子装置-晶片,其中, 保护电极主要系为防止于支撑体之表面及/或背面 发生之静电从连接端子部侵入至电子装置-晶片之 情形而备置。 6.如请求项4之电子装置-晶片,其中, 保护电极系处于浮动状态。 7.一种绕射光栅-光调变装置集合体,其系包含: (A)下部电极; (B)被支撑于下部电极上方之带状之固定电极; (C)被支撑于下部电极上方之相对固定电极为并列 之带状之可动电极;以及 (D)为与外部电路电性连接所设置,露出于外部,且 电气式地连接于可动电极之连接端子部,且 藉由基于经由连接端子部之来自外部电路之对于 可动电极之电压施加、以及对于下部电极之电压 施加所发生之于可动电极与下部电极之间发生作 用之静电力,使可动电极朝向下部电极位移,藉以 由可动电极与固定电极形成绕射光栅之绕射光栅- 光调变元件,具备复数个之绕射光栅-光调变装置, 系于基板之表面以复数个形成该集合体者; 各绕射光栅-光调变装置中进一步包含围绕连接端 子部之保护电极。 8.如请求项7之绕射光栅-光调变装置集合体,其中, 保护电极主要系为防止于基板之表面及/或背面发 生之静电从连接端子部侵入至可动电极之情形而 备置。 9.如请求项7之绕射光栅-光调变装置集合体,其中, 保护电极系处于浮动状态。 10.如请求项7之绕射光栅-光调变装置集合体,其中, 保护电极系被连接于下部电极。 11.如请求项7之绕射光栅-光调变装置集合体,其中, 构成各绕射光栅-光调变元件之固定电极系被连接 于复数之绕射光栅-光调变所共用之偏压电极,且 保护电极系被连接于偏压电极。 12.一种绕射光栅-光调变装置,其系包含: (A)下部电极; (B)被支撑于下部电极上方之带状之固定电极; (C)被支撑于下部电极上方之相对固定电极为并列 之带状之可动电极;以及 (D)为与外部电路电性连接所设置,露出于外部,且 电气式地连接于可动电极之连接端子部,且 藉由基于经由连接端子部之来自外部电路之对于 可动电极之电压施加、以及对于下部电极之电压 施加所发生之于可动电极与下部电极之间发生作 用之静电力,使可动电极朝向下部电极位移,藉以 由可动电极与固定电极形成绕射光栅之绕射光栅- 光调变元件,以复数个形成于支撑体之表面而成者 ; 进一步包含围绕连接端子部之保护电极。 13.如请求项12之绕射光栅-光调变装置,其中, 保护电极主要系为防止于支撑体之表面及/或背面 发生之静电从连接端子部侵入至可动电极之情形 而备置。 14.如请求项12之绕射光栅-光调变装置,其中, 保护电极系处于浮动状态。 15.如请求项12之绕射光栅-光调变装置,其中, 保护电极系被连接于下部电极。 16.如请求项12之绕射光栅-光调变装置,其中, 构成各绕射光栅-光调变元件之固定电极系被连接 于复数之绕射光栅-光调变所共用之偏压电极,且 保护电极系被连接于偏压电极。 17.一种绕射光栅-光调变装置集合体,其系包含: (A)下部电极; (B)被支撑于下部电极上方之带状之固定电极; (C)被支撑于下部电极上方之相对固定电极为并列 之带状之可动电极;以及 (D)为与外部电路电性连接所设置,露出于外部,且 电气式地连接于可动电极之连接端子部,且系 藉由基于经由连接端子部之来自外部电路之对于 可动电极之电压施加、以及对于下部电极之电压 施加所发生之于可动电极与下部电极之间发生作 用之静电力,使可动电极朝向下部电极位移,藉以 由可动电极与固定电极形成绕射光栅之绕射光栅- 光调变元件,具备复数个之绕射光栅-光调变装置, 系于基板之表面以复数个形成该集合体者; 于各绕射光栅-光调变装置之外周部,设置有保护 电极。 18.如请求项17之绕射光栅-光调变装置集合体,其中 , 保护电极主要系为防止于基板之表面及/或背面发 生之静电从连接端子部侵入至可动电极之情形而 备置。 19.如请求项17之绕射光栅-光调变装置集合体,其中 , 保护电极系处于浮动状态。 20.如请求项17之绕射光栅-光调变装置集合体,其中 , 保护电极系被连接于下部电极。 21.如请求项17之绕射光栅-光调变装置集合体,其中 , 构成各绕射光栅-光调变元件之固定电极系被连接 于复数之绕射光栅-光调变所共用之偏压电极,且 保护电极系被连接于偏压电极。 22.一种绕射光栅-光调变装置,其系包含: (A)下部电极; (B)被支撑于下部电极上方之带状之固定电极; (C)被支撑于下部电极上方之相对固定电极为并列 之带状之可动电极;以及 (D)为与外部电路电性连接所设置,露出于外部,且 电气式地连接于可动电极之连接端子部,且 藉由基于经由连接端子部之来自外部电路之对于 可动电极之电压施加、以及对于下部电极之电压 施加所发生之于可动电极与下部电极之间发生作 用之静电力,使可动电极朝向下部电极置移,藉以 由可动电极与固定电极形成绕射光栅之绕射光栅- 光调变元件,以复数个形成于支撑体之表面而成者 ; 于支撑体之外周部,设置有保护电极。 23.如请求项22之绕射光栅-光调变装置,其中, 保护电极主要系为防止于支撑体之表面及/或背面 发生之静电从连接端子部侵入至可动电极之情形 而备置。 24.如请求项22之绕射光栅-光调变装置,其中, 保护电极系处于浮动状态。 25.如请求项22之绕射光栅-光调变装置,其中, 保护电极系被连接于下部电极。 26.如请求项22之绕射光栅-光调变装置,其中, 构成各绕射光栅-光调变元件之固定电极系被连接 于复数之绕射光栅-光调变所共用之偏压电极,且 保护电极系被连接于偏压电极。 图式简单说明: 图1之(A)-(C)系实施例1之绕射光栅-光调变装置及其 变化实例之概念图。 图2之(A)-(C)系实施例2之绕射光栅-光调变装置及其 变化实例之概念图。 图3之(A)-(C)系实施例3之绕射光栅-光调变装置及其 变化实例之概念图。 图4之(A)-(C)系实施例4之绕射光栅-光调变装置及其 变化实例之概念图。 图5系实施例1之绕射光栅-光调变装置集合体之模 式图。 图6系将构成绕射光栅-光调变元件之下部电极、 固定电极、可动电极之配置模式性地揭示之图式 。 图7之(A)-(C)系沿着图6之箭号A-A之可动电极等之模 式性剖面图(限于绕射光栅-光调变元件系处于非 动作状态)。 图8之(A)-(C)系沿着图6之箭号B-B之固定电极等之模 式性剖面图。 图9系将固定电极、可动电极、偏压电极、控制电 极之配置模式性地揭示之图式。 图10之(A)系沿着图6之箭号A-A之可动电极等之模式 性剖面图(限于绕射光栅-光调变元件系处于动作 状态)。图10之(B)系沿着图6之箭号C-C之固定电极、 可动电极等之模式性剖面图。 图11系揭示组合有3个之绕射光栅-光调变装置之图 像形成装置之概念图。 图12之(A)-(D)系用于说明绕射光栅-光调变元件、绕 射光栅-光调变装置、绕射光栅-光调变装置集合 体之制造方法之概要之基板等之模式性之部分端 面图。 图13之(A)-(D)系连续于图12之(D)之后,用于说明绕射 光栅-光调变元件、绕射光栅-光调变装置、绕射 光栅-光调变装置集合体之制造方法之概要之基板 等之模式性之部分端面图。 |
