发明名称
摘要
申请公布号 JPS5540174(B2) 申请公布日期 1980.10.16
申请号 JP19750086535 申请日期 1975.07.14
申请人 发明人
分类号 C30B25/02;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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