| 摘要 |
디지털 노광 방법 및 이를 수행하기 위한 디지털 노광장치에서, 기판에 형성되는 적어도 2개 이상의 패턴 각각에 대하여 그래픽 데이터 시스템(GDS) 파일을 제작한다. 상기 그래픽 데이터 시스템(GDS) 파일로부터 디지털 마이크로 미러 디바이스(DMD) 온/오프 데이터를 생성한다. 상기 디지털 마이크로 미러 디바이스(DMD) 온/오프 데이터에 따라 상기 기판을 노광한다. 따라서, 표시패널의 패턴을 형성하는 메인 노광과, 각 표시패널과 기판의 고유번호를 형성하고 기판의 주변부를 제거하는 주변 노광을 한번에 일괄 수행함에 따라 공정을 단순화하여 비용을 절감할 수 있다. |
