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发明名称 METHOD OF PRODUCING EPITAXIAL LAYER
摘要
申请公布号 JPS55128821(A) 申请公布日期 1980.10.06
申请号 JP19790036621 申请日期 1979.03.27
申请人 SANYO ELECTRIC CO;TOKYO SANYO ELECTRIC CO 发明人 ASAKA NOBUYUKI;AOKI KUNIO
分类号 H01L21/74;H01L21/205 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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