CLEANING SEMICONDUCTOR MATERIALS U,申请号GB19780012121-传众专利搜索

发明名称	CLEANING SEMICONDUCTOR MATERIALS U
摘要
申请公布号	GB1575858(A)	申请公布日期	1980.10.01
申请号	GB19780012121	申请日期	1978.03.28
申请人	IBM CORP	发明人
分类号	H01L21/308;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C01B33/02	主分类号	H01L21/308
代理机构		代理人
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