摘要 |
<P>L'INVENTION SE RAPPORTE A UN SYSTEME OPTIQUE D'ALIGNEMENT DE DEUX MOTIFS ET UN PHOTOREPETEUR METTANT EN OEUVRE UN TEL SYSTEME.</P><P>SELON L'INVENTION, UN PREMIER MOTIF CONSTITUE PAR DEUX RESEAUX OPTIQUES, DISPOSES SUIVANT DEUX AXES DE COORDONNEES X, Y, EST ECLAIRE PAR L'IMAGE D'UN SECOND MOTIF COMPRENANT DEUX RESEAUX OPTIQUES, FORMANT REFERENCE, ET PRODUIT DES ORDRES DE DIFFRACTION. SELON UNE VARIANTE, LES RESEAUX OPTIQUES SONT CONSTITUES D'UNE SUITE DE TRAITS PARALLELES DONT L'EPAISSEUR ET LA REPARTITION SPATIALE SUIVANT UNE DIRECTION C SONT DETERMINEES PAR UN CODE PSEUDOALEATOIRE; LES TRAITS DES RESEAUX OPTIQUES DU PREMIER MOTIF ETANT EN OUTRE INTERROMPUS PERIODIQUEMENT SUIVANT UNE DIRECTION R POUR FORMER UN RESEAU OPTIQUE A PAS CONSTANT. LE SYSTEME OPTIQUE D'ALIGNEMENT COMPREND DES MOYENS DE DETECTION DE L'INTENSITE D'UNE PARTIE PREDETERMINEE DES ORDRES DE DIFFRACTION SUIVANT LA DIRECTION R.</P><P>APPLICATION A LA FABRICATION DE COMPOSANTS SEMI-CONDUCTEURS.</P>
|