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发明名称
TEST METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS55112577(A)
申请公布日期
1980.08.30
申请号
JP19790021095
申请日期
1979.02.22
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MIYAMOTO KAZUTOSHI
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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