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发明名称 HEATING-UP PACKING PIECE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATES FOR CHEMICAL DEPOSITION OF OXIDE LAYERS FROM THE GASEOUS PHASE
摘要
申请公布号 CS200062(B1) 申请公布日期 1980.08.29
申请号 CS19780005498 申请日期 1978.08.23
申请人 VALICEK,JAROMIR,CS;TISCHER,PETR,CS 发明人 VALICEK,JAROMIR,CS;TISCHER,PETR,CS
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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