发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS55111145(A) 申请公布日期 1980.08.27
申请号 JP19790019273 申请日期 1979.02.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIRAO TADASHI
分类号 H01L21/76;H01L21/302;H01L21/316;H01L21/331;H01L29/73 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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