发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS55110057(A) 申请公布日期 1980.08.25
申请号 JP19790016497 申请日期 1979.02.15
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SHIYUGIYOU SHINICHI;ICHIKAWA TETSUO
分类号 H01L21/761;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/76;H01L29/73 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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