| 发明名称 |
METHOD OF FORMING PATTERN BY ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55104000(A) |
申请公布日期 |
1980.08.08 |
| 申请号 |
JP19790011010 |
申请日期 |
1979.02.01 |
| 申请人 |
SUMITOMO CHEMICAL CO |
发明人 |
SANAI TAKEZOU;INOUE HARUO;HACHIKI YOSHINOBU |
| 分类号 |
B24C1/04;B24C1/00;B44C1/22 |
主分类号 |
B24C1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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