发明名称 VERFAHREN ZUR BERUEHRUNGSLOSEN POTENTIALMESSUNG AN EINEM ELEKTRONISCHEN BAUELEMENT UND ANORDNUNG ZUR DURCHFUEHRUNG DES VERFAHRENS
摘要
申请公布号 DE2903077(A1) 申请公布日期 1980.07.31
申请号 DE19792903077 申请日期 1979.01.26
申请人 SIEMENS AG 发明人 FEUERBAUM,HANS-PETER,DIPL.-PHYS.
分类号 H01J37/28;G01R31/26;G01R31/302;G01R31/305;H01J37/26;H01J49/48;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28;G01R19/00 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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