发明名称 |
VERFAHREN ZUR BERUEHRUNGSLOSEN POTENTIALMESSUNG AN EINEM ELEKTRONISCHEN BAUELEMENT UND ANORDNUNG ZUR DURCHFUEHRUNG DES VERFAHRENS |
摘要 |
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申请公布号 |
DE2903077(A1) |
申请公布日期 |
1980.07.31 |
申请号 |
DE19792903077 |
申请日期 |
1979.01.26 |
申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
FEUERBAUM,HANS-PETER,DIPL.-PHYS. |
分类号 |
H01J37/28;G01R31/26;G01R31/302;G01R31/305;H01J37/26;H01J49/48;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28;G01R19/00 |
主分类号 |
H01J37/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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