| 发明名称 |
BREAKING INCIDENT DETECTING METHOD OF IRRADIATION WINDOW FOIL IN RADIANT RAY IRRADIATION AND DISCHARGE GAS DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5598324(A) |
申请公布日期 |
1980.07.26 |
| 申请号 |
JP19780162154 |
申请日期 |
1978.12.29 |
| 申请人 |
EBARA MFG;TETSUKOUGIYOU CHITSUSO SANKABU |
发明人 |
AOKI SHINJI;KAWAMURA KEITA;HIGO TSUTOMU;KIMURA HITOSHI;SAWADA YASUHIRO;KATAYAMA TSUTOMU;KENGAKU KATSUMI |
| 分类号 |
G01M3/02;B01D53/00;G01M3/16;G01M3/24;G01M3/26 |
主分类号 |
G01M3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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