发明名称 雷射光学元件安装配置及方法
摘要
申请公布号 TW116818 申请公布日期 1989.08.11
申请号 TW076107678 申请日期 1987.12.15
申请人 PRC公司 发明人 大卫R.怀特豪斯
分类号 H01S3/05 主分类号 H01S3/05
代理机构 代理人 蔡坤财 台北巿松江路一四八号十二楼之三
主权项 1.用以安装诸如雷射之反射镜,发射镜,或输出窗等光学元件于雷射之安装支持构件上之方法,包括步骤:提供充分光滑之一表面于该支持构件之光学元件安装表面上,俾与光学元件之一表面形成真空密封;使该光学元件之该表面与支持构件之该安装表面接合,俾在该二表面之间形成真空密封,此真空密封可打开及重行形成。2.根据请求专利部份第1项所述之安装光学元件之方法,其中,该支持构件之光学元安装表面为平坦形。3.根据请求专利部份第2项所述之安装光学元件之方法,其中,该支持构件之平坦之光学元件安装表面具有在0.63微米波长上的四或更少光纹之平坦度。4.根据请求专利部份第2项所述之安装光学元件之方法,其中,该光学元件之表面为平坦形。5.根据请求专利部份第4项所述之安装光学元件之方法,其中,该光学元件之平坦表面具有在0.63微米波长上约四或更少光纹之平坦度。6.根据请求专利部份第2项所述之安装光学元件之方法,其中,该光学元件之表面为曲线形,故与支持构件之平坦表面达成基本上线接触,以达成该真空密封。7.根据请求专利部份第1项所述之安装光学 '元件之方法,其中,该支持构件之光学元件安装表面为曲线形表面。8.根据请求专利部份第7项所述之安装光学元件之方法,其中,光学元件之表面为与支持构件之曲线形表面相似之曲线形状,俾与其匹配接合,以达成真空密封。9.根据请求专利部份第1项所述之安装光学元件之方法,其中,该二表面使在轻压力接触下及在周围温度上相互接合,以形成该真空密封。10.根据请求专利部份第1项所述之安装光学元件之方法,其中,该提供支持构件之安装表面之步骤包括研磨抛光该表面,俾该表面充分平滑,以与光学元件之该表面形成真空密封。11.根据请求专利部份第1项所述之安装光学元件之方法,其中,该支持构件由铝合金制成。12.根据请求专利部份第1项所述之安装光学元件之方法,其中,至少欲与支持构件之安装表面接合之该光学元件表面涂以一层材。13.根据请求专利部份12项所述之安装光学元件之方法,其中,该层材料为金属。14.根据请求专利部份第13项所述之安装光学元件之方法,其中,该金属系选自金,金银合金,及银所组成之群中。15.根据请求专利部份第13项所述之安装光学元件之方法,其中,该层金属为铜。16.根据请求专利部份第12项所述之安装光学元件之方法,其中,该层材料为非属材料。17.根据请求专利部份第16项所述之安装光学元件之方法,其中,该非金属材料为非金属介质层。18.根据请求专利部份第17项所述之安装光学元件之方法,其中,该非金属介质材料层构设于一银涂层上。19.根据请求专利部份第12项所述之安装光学元件之方法,其中,该涂层置于一镍涂层上,镍涂层至少敷执于该光学元件支持构件之该表面上。20.根据请求专利部份第19项所述之安装光学元件之方法,其中,该有涂层之光学元件为铜裂。21.根据请求专利部份第1项所述之安装光学元件之方法,其中,光学元件为硒化钾所制。22.根据请求专利部份第1项所述之安装光学元件之方法,其中,该接合步骤包括先支持该光学元件于一额外支持构件之孔口中,然后移动该额外支持构件及其中之光学元件,俾使光学元件之该表面接合安装支持构件之该安装表面,以达成该真空密封。23.根据请求专利部份第22项所述之安装光学元件之方法,其中,一弹性构件置于在轴向上该额外支持构件及其中之光学元件之间之光学元件之一面上,该面与欲与安装支持构件接合之该表面相反,俾均匀分布安装压力于该光学元件上。24.根据请求专利部份第23项所述之安装光学元件之方法,另包括步骤,维持压力于光学元件上,俾在地球大气或外太空中维持该真空密封。25.一种雷射光学元件安装装置,包含一雷射光学元件及一雷射安装支持构件,该安装支持构件具有一光滑之光学元件安装表面,其上接合光学元件之一表面,以形成真空密封。26.根据请求专利部份第25项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该光滑之光学元件安装表面为平坦形。27.根据请求专利部份第26项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该平坦之光学元件安装表面具有在0.63微米波长上的四或更少光纹之平坦度。28.根据请求专利部份第26项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该光学元件之该表面为平坦形。29.根据请求专利部份第28项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该光学元件之该表面具有庄0.63微水波长上的四或更少光纹之平坦度。30.根据请求专利部份第26项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该光学元件之该表面为曲线形,俾与该平坦表面大致达成线接触,以形成真空密封。31.根据请求专利部份第25项所述之雷射光元件安装装置,其中,该光学元件安装表面为曲线形表面。32.根据请求专利部份第31项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该光学元件之表面以与光学元件安装表面相似之曲线弯曲,俾该二表面匹配接合,以达成该真空密封。33.根据请求专利部份第25项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该光学元件置于一额外之支持构件之一孔口中,该构件以可拆离式连接至该安装支持构件。34.根据请求专利部份第33项所述之雷射光学元件安装装置,其中,一弹性构件装于该额外支持构件及光学元件间之光学元件之表面上,该表面与光学元件与安装支持构真空密封之表面相反。35.根据请求专利部份第25项所述之雷射光学元件安装装置,其中 该支持构件为铝合金所制。36.根据请求专利部份第25所述之雷射光学元件安装装置,其中与该安装支持构件接合之光学元件之至,该表面涂以一层材料。37.根据请求专利部份第35项所述之雷射光学元件安装装置,其中 该层材料为金属。38.根据请求专利部份第37项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该金属系选自金,金银合金,及银所组作之群中。39.根据请求专利部份第37项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该金属为铜。40.根据请求专利部份第36项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该层材为非属材料。41.根据请求专利部份第40项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该非金属材料为非金属介质层。42.根据请求专利部份第41项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该非金属介质材料层构制于一银涂层上。43.根据请求专利部份第36项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该涂层系设于与该安装支持构件接合之光学元件之至少该表面上之一镍涂层上。44.根据请求专利部份第36项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该有涂层之光学元件由件由铜制成。45.根据请求专利部份第25项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该光学元件为硒化锌所裂。46.根据请求专利部份第25项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该光学元件为反射镜。47.根据请求专利部份第25项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该光学元件为一输出窗。48.根据请求专利部份第25项所述之雷射光学元件安装装置,其中,该光学元件外侧设有室装置,用以维持一流体压力于光学元件外侧,俾在外太空或其他真空情况中维特该真空密封。49.在一气体雷射中,包含:界定一雷射空腔之装置,用以容纳雷射气体;用以电激励该空腔中之气体之装置;及至少一光学元件;用以操纵由雷射中之雷射气体所发射之光;窗射光学元件装于气体雷射之窗射安装支持构件上,该安装支持构件具有一光滑表面,光学元件之一接合表面真空密封于其上。图示简单说明:第1图为沿第2图之线1一1上所取之断面图,该图通过第2图所示之本发明之一雷射后镜安装装置之反射镜之中心光轴;第2图为本发明之较宜实施例之雷射后镜安装装置之后视图;第3图为沿第4图之线皿一皿上所取之断面图,该图通过本发明之发射镜或输出窗安装装置之中心光轴;第4图为本发明之第二实施例之雷射光束发射镜或输出窗安装装置;第5图为一气体雷射之侧视图,部份为断面图,具有本发明之雷射光学安装装置;第6图为与第1图相似之雷射后镜安装装置之断面图,唯支持构件之安装表面为曲线形,与后镜之曲线形表面匹配;及第7图为与第3图相似之断面图,该图通过适用于外太空上之光学元安装装置之中心光轴。
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