发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE FOR ULTRA HIGH FREQUENCY
摘要
申请公布号 JPS5591152(A) 申请公布日期 1980.07.10
申请号 JP19780164694 申请日期 1978.12.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIGAKI MASAFUMI;TAKANO TAKESHI;KOSEMURA KINSHIROU
分类号 H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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