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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG AMORPHER HALBLEITERSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DE2950846(A1) 申请公布日期 1980.07.10
申请号 DE19792950846 申请日期 1979.12.18
申请人 INTERNATIONAL STANDARD ELECTRIC CORP. 发明人 LUDLOW GOODMAN,COLIN HOWARD
分类号 C23C30/00;H01L21/205;H01L29/16;H01L31/20;(IPC1-7):01J17/30;01L21/203;01L31/18 主分类号 C23C30/00
代理机构 代理人
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