| 发明名称 |
FORMING DEVICE FOR WET OXYGEN AND HEAT TREATMENT FURNACE PROVIDED WITH THE SAID DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5590405(A) |
申请公布日期 |
1980.07.09 |
| 申请号 |
JP19780159860 |
申请日期 |
1978.12.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SASAKI TAMOTSU;AKIYAMA MASAMOTO |
| 分类号 |
C01B13/00;C01B13/02;H01L21/31 |
主分类号 |
C01B13/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
