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发明名称 VORRICHTUNG ZUM POSITIONIEREN UND SPEICHERN VON HALBLEITERCHIPS
摘要
申请公布号 DD142624(A1) 申请公布日期 1980.07.02
申请号 DD19790211711 申请日期 1979.03.21
申请人 PERTHEN,HOLGER,DD 发明人 PERTHEN,HOLGER,DD
分类号 H01L21/50;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
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