发明名称
摘要
申请公布号 JPS5522938(B2) 申请公布日期 1980.06.19
申请号 JP19730027044 申请日期 1973.03.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/324;H01L29/43;H01L33/30;H01L33/40 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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