发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE CONVERTING ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS5577178(A) 申请公布日期 1980.06.10
申请号 JP19780150003 申请日期 1978.12.06
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HAYASHI TADAHIRO;YAMAKI BUNSHIROU
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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