发明名称 MONITORING METHOD OF ION INJECTION DOSE
摘要
申请公布号 JPS5574134(A) 申请公布日期 1980.06.04
申请号 JP19780147604 申请日期 1978.11.29
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KINOSHITA KATSUYUKI
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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