| 发明名称 |
PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5572052(A) |
申请公布日期 |
1980.05.30 |
| 申请号 |
JP19780146237 |
申请日期 |
1978.11.27 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TABATA AKIRA;KAWABE YUUNOSUKE;TAKADA CHIYUUICHI;ABE RIYOUJI;MONMA YOSHINOBU |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
