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申请公布号 DE2730182(B2) 申请公布日期 1980.05.29
申请号 DE19772730182 申请日期 1977.07.04
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO 发明人 SAEKI, JUN-ICHI;KANEDA, AIZO;OTSUKI, KEIZO, HIGASHIYAMATO
分类号 H01L21/56;B29C33/00;B29C41/00;B29C43/00;B29C45/00;B29C45/02;B29C45/26;B29C45/27;B29C45/38;B29C45/40;B29C45/77;(IPC1-7):B29C1/00 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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