发明名称
摘要
申请公布号 JPS5519410(B2) 申请公布日期 1980.05.26
申请号 JP19730102329 申请日期 1973.09.10
申请人 发明人
分类号 H01C17/08;G01K7/16;G01K7/22;H01C7/00;H01C17/20;H01L21/66 主分类号 H01C17/08
代理机构 代理人
主权项
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